明電舎は１７日、世界で初めて純度１００％のオゾンを使った常温成膜技術を開発したと発表した。有機ＥＬディスプレイなど高機能のフィルム市場向けで実用化を図る。
現在の有機ＥＬディスプレイではプラズマ技術を使い１００～１５０度の環境下でフィルムが作られている。明電舎の新技術では３０度の常温下で成膜できるためダメージが少なく、薄く緻密で曲げやすいフィルムを造れるという。原料ガスを変えることで、アルミ酸化膜や高誘電体膜など最先端の金属酸化膜も成膜できる。
明電舎は同技術の活用を進めることで、ピュアオゾンガス発生装置の拡販につなげ、年間３０台の販売を目指していく考え。
