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【東京2022年4月4日PR Newswire＝共同通信JBN】半導体プロセス制御のためのin-situリアルタイム高感度計測のリーダーであるアトナープ（Atonarp）（https://c212.net/c/link/?t=0&l=en&o=3491594-1&h=1345529459&u=http%3A%2F%2Fwww.atonarp.com%2F&a=Atonarp ）は、Aston （https://c212.net/c/link/?t=0&l=en&o=3491594-1&h=3349037828&u=https%3A%2F%2Fwww.atonarp.com%2Fproducts%2Faston-semiconductor&a=Aston ）プラットフォームの全世界での発売開始を発表した。これは、同社が世界規模で商業組織に移行する際の重要なマイルストーンとなる。
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Astonは、プロセス化学の正確なリアルタイムデータを提供する小型質量分析計で、分子濃度を10億分の1まで測定できる感度を備えている。このデータにより、半導体製造FABは効率的に稼働して歩留まりとスループットを向上することができるようになり、FAB事業者に劇的な経済的利益をもたらす。
アトナープは4日の発表で、韓国および米国の大手半導体FABと装置メーカー向けに、Aston Impactの生産指示を出荷する。また、同社はプロセスおよび製造効率の最適化を図るため、クライアントの先端プロセスでの評価用として数十台のAstonのユニットも出荷する。
アトナープのMartin Mason製品マーケティング担当副社長は「分子レベルで実用的なプロセス制御データを迅速に検出、定量化し、提供する能力は、先端半導体製造プロセスにおける真のゲームチェンジャーだ。スループットが1％向上するだけでも、一般的なFABでは年間数千万ドルの生産量につながる。Astonは、分子レベルのプロセス制御の効率化に対してスピードと感度が重要な意味を持つ分野に、大きなけん引力を見込んでいる」と述べた。
半導体製造において、計測は極めて重要な要素だ。廃棄物を最小限に抑えながら、プロセスのマージンを確実に満たすために、製造装置内では複数のガス濃度を測定する。これまでのソリューションは、発光分光法や残留ガス分析器に依拠していたが、これらの従来の方法では、今日の高度なメモリーやロジックプロセスに必要なスピードと感度を提供することはできない。これに代わってAstonは、革新的な質量分析技術とクラス最高のセンサーを使用し、優れた感度で高速な結果を提供するとともに、腐食性ガスや凝縮物に耐えるために必要な強固さを備えている。
Astonは、原子レベル蒸着（ALD）やサブファブオペレーションなどの高度な半導体アプリケーションに実用的なデータを提供する。Astonは、10億分の2乗根Hzに9個（9ppb2乗根Hz）未満で、データ収集のスピードに妥協することなく、競合他社のソリューションに比べて最大10倍の優れた感度を提供することができる。
アトナープは、半導体分野の新しいアプリケーションや、石油・ガス、凍結乾燥プロセス制御などリアルタイムで高感度なガス分析を必要とするアプリケーション向けのAstonプラットフォームを開発するために、積極的にパートナーシップに関わっている。
Astonは、EN55032（EU）、EN55035（EU）、FCC part15（米国）、ICES-003（カナダ）、VCCI CISPR-32（日本）、BSMI（台湾）、KC EMC（韓国）など複数のEMI/EMC準拠の認証・認定を取得している。これらの認証取得により、Astonは現在世界中の顧客に大量に出荷されている。
アトナープはATI Koreaと提携し、この地域の顧客にエッチング、CVD、Spatial ALD、サブファブアプリケーション用の統合ソリューションを提供している。
Atonarp Astonのファミリー製品の詳細情報はhttps://www.atonarp.com を参照。
▽アトナープについて
アトナープ（Atonarp）は、デジタル分子プロファイリングを通じて、臨床診断、ライフサイエンス研究、半導体、産業用プロセス制御を発展させている。同社のAstonおよびATONプラットフォームは、高度な分析技術によって革新的なスペクトロメトリー技術を活用し、リアルタイムで実用的な結果を生み出す。同社のプラットフォームは、複数の業界にわたるさまざまなアプリケーションに適用できる。高度な製造プロセスにおけるIn-Situの高感度分子計測は、スループットの向上、効率の改善、廃棄物の削減を意味する。同社の定量的マルチプレックス無化学物質診断検査は、臨床現場での疾患診断とモニタリングを可能にし、低コストで転帰と患者満足度を向上させる。
ソース：Atonarp
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