オランダの半導体製造装置大手ASMLなど海外の企業や研究機関が、日本に生産設備の保守などを手がける支援拠点を相次いで設立することが1日、分かった。西村経済産業相が北海道千歳市での企業幹部らとの会談後、記者団に明らかにした。
ASMLは、台湾積体電路製造（TSMC）が工場を建設している熊本県にサポート拠点を開く。千歳市に工場を建てるラピダスと、広島県東広島市で工場を運営する米マイクロン・テクノロジーに、半導体の微細化に欠かせない極端紫外線露光装置を納入する計画もあり、日本での支援体制を拡充する。
米半導体製造装置大手ラムリサーチは、ラピダスを支援する拠点を北海道に設ける。
