【ロンドン共同】オランダの半導体製造装置大手ASMLは26日、2024年半ばに北海道千歳市で生産技術の支援を行う拠点を設けることを検討していると明らかにした。現地では、NTTやトヨタ自動車などが出資するラピダスが次世代半導体の国産化を目指して工場を建設しており、協力を強化する狙い。
ASMLは半導体の製造工程で、微細な回路パターンを基板に焼き付ける露光装置の世界大手。同社によると、半導体の微細化で特長のある極端紫外線（EUV）の露光装置を世界で唯一手がける。企業が工場で装置を利用する際に、技術的な支援や機器の保守作業も請け負っている。
